실리콘 웨이퍼의 습식 샌드블라스팅을 위한 백색 용융 알루미늄 산화물 15-20um
실리콘 웨이퍼를 슬라이스한 후, 샌드블라스팅 처리를 통해 산화층을 제거하고 평탄도를 개선할 수 있습니다. 일반적으로 사용되는 샌드블라스팅 방법은 습식 마이크로 샌드블라스팅입니다. 이 응용 분야의 블라스팅 매체는 흰색 용융 알루미늄 산화물 15-20um 분말입니다.
백색 용융 산화 알루미늄 분말은 용융 알루미나로부터 미세 가공되어 입자 크기가 균일하고 분쇄 효율이 높습니다. 동시에 WFA 15-20um 분말은 오버플로 침전을 통해 건조됩니다. 따라서 응집이나 덩어리 없이 유동성이 좋습니다.
백색 용융 알루미늄 산화물 15-20um의 화학 조성:
| 목 | 보증가치(%) | 일반적인 값(%) |
| Al2O3 | ≥99.2 | 99.55 |
| Fe2O3 | ≤0.04 | 0.02 |
| 이산화규소 2 | ≤0.20 | 0.11 |
| Na2O | ≤0.30 | 0.22 |
| 산화마그네슘 | ≤0.05 | 0.04 |
| 높은 | ≤0.05 | 0.03 |
| 케이 2 오 | ≤0.05 | 0.04 |
물리적 특성 :
| 구체적인 무게 | 경도 | PH 값 | 녹는점 |
| 3.95g/ cm3 | 9.0모스 척도 | 7-9.5 | 2050℃ |
입자 크기 분포 (레이저 분석기 LS609) :
| 크기 | 백색융착알루미늄산화물 800메시 | 백색융착알루미늄산화물 1000메시 |
| D10 | ≥10 음 | ≥8 음 |
| 디50 | 18-21 하나 | 14-17 하나 |
| D90 | ≤33 음 | ≤28 음 |
